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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：TH513半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-11-05

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

國(guó)產(chǎn)TH513半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀替代進(jìn)口，測(cè)MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路半導(dǎo)體功率器件，曲線圖示儀

產(chǎn)品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業(yè)!

“專"——專注工業(yè)測(cè)試十六年!

“特"——德國(guó)萊茵TUV認(rèn)證供應(yīng)商!

“新"——注冊(cè)資本實(shí)繳壹仟萬(wàn)元!實(shí)繳資金行業(yè)中居前茅!抗金融風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)!

TH513半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀  

性能特點(diǎn)

 一體化設(shè)計(jì)：

    LCR+柵極電壓VGS

 +漏極電壓VDS

 +通道切換+上位機(jī)軟件

• 柵極電壓VGS：0 - ±40V

 • 漏極電壓VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V

 • 單管器件（點(diǎn)測(cè)）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)

   三種測(cè)試方式

• 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)

   同屏一鍵測(cè)量及顯示

• 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測(cè)單管、多芯或模組器件    （TH513僅1通道）

• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

• 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測(cè)試

• 接觸檢查Cont

 • 通斷測(cè)試OP_SH

 • 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置

• Crss Plus功能：解決高頻下Crss負(fù)值問(wèn)題

• 高壓擊穿保護(hù)：DS瞬間短路，保護(hù)儀器

• Interlock安全鎖功能：增加高壓防護(hù)墻(僅TH513)

 • Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測(cè)試分析

• 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

• 10檔分選

TH513半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀應(yīng)用

• 半導(dǎo)體元件/功率元件

   二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析

• 半導(dǎo)體材料

   晶圓、C-V特性分析

• 液晶材料

   彈性常數(shù)分析

 標(biāo)配RS232  √ USB HOST  √ USB DEVICE  √ LAN  √ HANDLER  √

產(chǎn)品型號(hào)TH511TH512TH513

通道數(shù)2（可選配4/6通道）1

顯示顯示器10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏

比例16:9

分辨率1280×RGB×800

測(cè)量參數(shù)CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數(shù)任意選擇

測(cè)試頻率范圍1kHz-2MHz

精度0.01%

分辨率10mHz1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz100.000kHz-999.999kHz

10Hz1.00000MHz-2.00000MHz

測(cè)試電平電壓范圍5mVrms-2Vrms

準(zhǔn)確度±（10%×設(shè)定值+2mV）

分辨率1mVrms0.5Vrms-1Vrms

10mVrms1Vrms-2Vrms

VGS電壓范圍0 -   ±40V

準(zhǔn)確度1%×設(shè)定電壓+8mV

分辨率1mV0V - ±10V

10mV±10V - ±40V

VDS電壓范圍0 -   ±200V0 -   ±1500V0 -   ±3000V

準(zhǔn)確度1%×設(shè)定電壓+100mV

輸出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數(shù)學(xué)運(yùn)算與標(biāo)稱值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

校準(zhǔn)功能開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)

測(cè)量平均1-255次

AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）快速+：2.5ms(＞5kHz)

快速：11ms,

中速：90ms

慢速：220ms

最高準(zhǔn)確度0.5%（具體參考說(shuō)明書）

CISS、COSS、CRSS0.00001pF   - 9.99999F

Rg0.001mΩ   - 99.9999MΩ

Δ%±（0.000% - 999.9%）

多功能參數(shù)列表掃描點(diǎn)數(shù)50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選

參數(shù)測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道

觸發(fā)模式順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次

步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

圖形掃描掃描點(diǎn)數(shù)任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn)

結(jié)果顯示同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

顯示范圍實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定

坐標(biāo)標(biāo)尺對(duì)數(shù)、線性

掃描參數(shù)Vg、Vd、Freq

觸發(fā)方式手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描

結(jié)果保存圖形、文件

比較器Bin分檔10Bin、PASS、FAIL

Bin偏差設(shè)置偏差值、百分偏差值、關(guān)

Bin模式容差

Bin計(jì)數(shù)0-99999

檔判別每檔最多可設(shè)置四個(gè)參數(shù)極限范圍，四個(gè)測(cè)試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對(duì)應(yīng)檔號(hào)，超出設(shè)定最大檔號(hào)范圍則顯示FAIL，未設(shè)置上下限的測(cè)試參數(shù)自動(dòng)忽略檔判別

PASS/FAIL指示滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮

存儲(chǔ)調(diào)用內(nèi)部約100M非易失存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)定文件

外置USB測(cè)試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件

鍵盤鎖定可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴(kuò)充

接口USB HOST2個(gè)USB HOST接口，可同時(shí)接鼠標(biāo)、鍵盤，U盤同時(shí)只能使用一個(gè)

USB DEVICE通用串行總線插座，小型B類（4個(gè)接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。

LAN10/100M以太網(wǎng)，8引腳，兩種速度選擇

HANDLER用于Bin分檔信號(hào)輸出

RS232C標(biāo)準(zhǔn)9針，交叉

RS485標(biāo)準(zhǔn)差分線

GPIB24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容

開機(jī)預(yù)熱時(shí)間60分鐘

輸入電壓100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz

功耗不小于130VA

尺寸（WxHxD）mm430x177x405

重量16kg

技術(shù)參數(shù) 

產(chǎn)品型號(hào)TH511 TH512 TH513

通道數(shù)2（可選配4/6通道）

顯示

顯示器10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏

比例16:9

分辨率1280×RGB×800

測(cè)量參數(shù)Ciss、

Coss、Crss、Rg，四參數(shù)任意選擇

測(cè)試頻率

范圍1kHz-2MHz

精度0.01%

分辨率

10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz

 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz

 1Hz 100.000kHz-999.999kHz

 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz

測(cè)試電平

電壓范圍5mVrms-1Vrms

準(zhǔn)確度±（10%×設(shè)定值+2mV）

分辨率1mVrms 5mVrms-1Vrms

 VGS

電壓

范圍0 - ±40V

準(zhǔn)確度1%×設(shè)定電壓+8mV

分辨率

1mV 0V - ±10V

 10mV ±10V - ±40V

 VDS

電壓范圍0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V

準(zhǔn)確度1%×設(shè)定電壓+100mV

輸出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數(shù)學(xué)運(yùn)算與標(biāo)稱值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

校準(zhǔn)功能開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)

測(cè)量平均1-255次

AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）

快速+：2.5ms(＞5kHz)

快速：11ms

中速：90ms

慢速：220ms

最高準(zhǔn)確度0.5%（具體參考說(shuō)明書）

  Ciss、Coss、Crss 0.00001pF - 9.99999F

 Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ

 Δ% ±（0.000% - 999.9%）

多功能參數(shù)

列表掃描

點(diǎn)數(shù)50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選

參數(shù)測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道

觸發(fā)模式

順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次

步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最

后的/EOM才輸出

圖形掃描

掃描點(diǎn)數(shù)任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn)

結(jié)果顯示同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 

顯示范圍實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定

坐標(biāo)標(biāo)尺對(duì)數(shù)、線性

掃描參數(shù)Vg、Vd

觸發(fā)方式手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描

結(jié)果保存圖形、文件

比較器

Bin分檔10Bin、PASS、FAIL

 Bin偏差設(shè)置偏差值、百分偏差值、關(guān)

Bin模式容差

Bin計(jì)數(shù)0-99999

檔判別每檔最多可設(shè)置四個(gè)參數(shù)極限范圍，四個(gè)測(cè)試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對(duì)應(yīng)檔號(hào)，超出設(shè)定最大檔號(hào)

范圍則顯示FAIL，未設(shè)置上下限的測(cè)試參數(shù)自動(dòng)忽略檔判別

PASS/FAIL指示滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮

存儲(chǔ)調(diào)用內(nèi)部約100M非易失存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)定文件

外置USB測(cè)試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件

鍵盤鎖定可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴(kuò)充

接口

USB HOST 2個(gè)USB HOST接口，可同時(shí)接鼠標(biāo)、鍵盤，U盤同時(shí)只能使用一個(gè)

USB DEVICE通用串行總線插座，小型B類（4個(gè)接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。

LAN 10/100M以太網(wǎng)，8引腳，兩種速度選擇

HANDLER用于Bin分檔信號(hào)輸出

RS232C標(biāo)準(zhǔn)9針，交叉

RS485標(biāo)準(zhǔn)差分線

GPIB 24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容

開機(jī)預(yù)熱時(shí)間60分鐘

輸入電壓100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz

供電電源功率不小于130VA

尺寸（WxHxD）mm 430x177x405

重量16kg

隨機(jī)附件

電源線一根

TH26063B 測(cè)試夾具    （僅TH511和TH512）

TH26063C 測(cè)試夾具    （僅TH511和TH512）

TH26063D 連接電纜    （僅TH511和TH512）

TH26063G 測(cè)試延長(zhǎng)線（僅TH511和TH512）

TH26071C USB轉(zhuǎn)RC232通訊線纜

TH513-1   測(cè)試夾具    （僅TH513） 

簡(jiǎn)介

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì)，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測(cè)試，無(wú)需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測(cè)試，適用于生產(chǎn)線快速測(cè)試、自動(dòng)化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析（此功能為選件）。

儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz，Vgs電壓可達(dá)±40V，VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測(cè)試。

功能特點(diǎn)

A.一體化測(cè)試，集成度高、體積小、效率高

   一臺(tái)儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件，將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi)，操作更簡(jiǎn)單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動(dòng)化測(cè)試。

B.單管器件測(cè)試，10.1寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細(xì)節(jié)一覽無(wú)遺

   MOSFET或IGBT最重要的四個(gè)寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測(cè)試，10.1寸大屏可同時(shí)將測(cè)量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時(shí)顯示，一目了然。

   一鍵測(cè)試單管器件器件時(shí)，無(wú)需頻繁切換測(cè)試腳位、測(cè)量參數(shù)、測(cè)量結(jié)果，大大提高了測(cè)試效率。

C.列表測(cè)試，多個(gè)、多芯、模組器件測(cè)量參數(shù)同屏顯示

   TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)單管器件、6芯器件或6模組器件測(cè)試，所有測(cè)量參數(shù)通過(guò)列表掃描模式同時(shí)顯示測(cè)試結(jié)果及判斷結(jié)果。

D.曲線掃描功能（選件）

   在MOSFET的參數(shù)中，CV特性曲線也是一個(gè)非常重要的指標(biāo)，如下圖

   TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對(duì)數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描，可同時(shí)顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

   TH510系列同時(shí)支持多種曲線掃描模型

   曲線支持散點(diǎn)標(biāo)記及粗細(xì)調(diào)節(jié)

   Ciss-Rg曲線掃描

E.Cs-V功能,二極管結(jié)電容CV特性測(cè)試分析

    得益于TH510系列功率器件CV特性分析儀內(nèi)置了2路直流電源，使二極管的CV特性分析成為可能，Cs-V功能可用于測(cè)試各種二極管的結(jié)電容，并可分析二極管的CV特性。

F.等效模式轉(zhuǎn)換

   TH510系列功率器件CV特性分析儀測(cè)試結(jié)果的電容C均為串聯(lián)模式Cs，對(duì)于部分需求測(cè)試并聯(lián)模式Cp需求的客戶，可自行切換

G. 多種獨(dú)特技術(shù)，解決自動(dòng)化配套測(cè)試痛點(diǎn)

       在配套自動(dòng)化設(shè)備或者產(chǎn)線時(shí)，經(jīng)常會(huì)遇到下列問(wèn)題，同惠針對(duì)多種情況進(jìn)行了優(yōu)化。

       1）獨(dú)特技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動(dòng)化系統(tǒng)高速測(cè)試精度

同惠電子在電容測(cè)試行業(yè)近30年的經(jīng)驗(yàn)積累，得以在產(chǎn)線、自動(dòng)化測(cè)試等高速高精度測(cè)試場(chǎng)合，都能保證電容、電阻等測(cè)試精度。

常規(guī)產(chǎn)線測(cè)試，提供標(biāo)準(zhǔn)0米測(cè)試夾具，直插器件可直接插入進(jìn)行測(cè)試，Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度高。                   image.png        

針對(duì)自動(dòng)化測(cè)試，由于自動(dòng)化設(shè)備測(cè)試工裝通常需要較長(zhǎng)連接線，大多自動(dòng)化設(shè)備生產(chǎn)商在延長(zhǎng)測(cè)試線時(shí)會(huì)帶來(lái)很大的精度偏差，為此，同惠設(shè)計(jì)了獨(dú)特的2米延長(zhǎng)線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn)，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度和0米測(cè)試夾具一致。

       2）接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動(dòng)化測(cè)試隱患

在高速測(cè)試特別是自動(dòng)化測(cè)試中，經(jīng)常會(huì)由于快速插拔或閉合，造成測(cè)試治具或工裝表面磨損、引線斷裂而接觸不良，接觸不良的造成的最直接后果是誤判測(cè)試結(jié)果而難以發(fā)現(xiàn)，在廢品率突然增加或發(fā)出產(chǎn)品故障原因退回時(shí)才會(huì)發(fā)現(xiàn)，因此是一個(gè)極大的隱患。

同惠TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀采用了獨(dú)特的硬件測(cè)試方法，采用了四端測(cè)量法，每個(gè)腳位均有兩根線連接，若任意一根線斷裂或者接觸點(diǎn)接觸不良，均可及時(shí)發(fā)現(xiàn)并提供接觸不良點(diǎn)提示，儀器自動(dòng)停止測(cè)試，等待進(jìn)一步處理。

保障了結(jié)果的準(zhǔn)確性，同時(shí)利于客戶及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，避免了不良品率提高及故障品退回等帶來(lái)的損失。

       3）快速通斷測(cè)試（OP_SH）,排除損壞器件

在半導(dǎo)體器件特性測(cè)試時(shí)，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個(gè)芯已經(jīng)損壞的情況下，測(cè)試雜散電容仍有可能被判斷為合格，而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。

因此，對(duì)于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測(cè)試是沒(méi)有必要的，不僅僅浪費(fèi)了測(cè)量時(shí)間，同時(shí)會(huì)由于C-V合格而混雜在良品里，導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來(lái)?yè)p失。

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測(cè)試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。

       4）Crss+Plus功能，解決自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)高頻下Crss負(fù)值問(wèn)題      

Crss電容通常在pF級(jí)，容量較小，測(cè)試是個(gè)難題。

而在自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中，由于過(guò)多的轉(zhuǎn)接開關(guān)、過(guò)長(zhǎng)測(cè)測(cè)試引線等帶來(lái)的寄生參數(shù)。

因此，測(cè)試Crss，特別是在高頻測(cè)試時(shí)通常會(huì)出現(xiàn)負(fù)值，

同惠電子憑借在電容器測(cè)試行業(yè)30年的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)積累，采用獨(dú)特的算法的Crss Plus模式，可保證即使是在自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中、高頻下也能測(cè)的正確的結(jié)果。

       5）漏源高壓擊穿保護(hù)技術(shù)，防止損壞測(cè)試儀器

在測(cè)試功率器件電容時(shí)，漏極D通常會(huì)加上高壓，特別是第三代功率半導(dǎo)體器件，電壓甚至可高達(dá)1000V-3000V，當(dāng)漏源瞬間擊穿時(shí)，常會(huì)導(dǎo)致電容器瞬間短路放電，在漏源電壓1500V時(shí)，放電電流可高達(dá)780A，如此大的瞬間電流，會(huì)反沖至儀器內(nèi)部電路，并導(dǎo)致?lián)p壞。

同惠高壓擊穿保護(hù)技術(shù)，解決了此隱患，避免經(jīng)常由于高壓沖擊損壞儀器，降低了維修成本的同時(shí)提高了自動(dòng)化測(cè)試的效率。

       6）Interlock互鎖功能，確保高壓下操作環(huán)境安全（僅TH513）

在測(cè)試功率器件需施加高壓，因此對(duì)于操作者及其他設(shè)備的安全隔離非常重要，特別是在自動(dòng)化產(chǎn)線，通常會(huì)將高壓設(shè)備放置在一個(gè)隔離的環(huán)境，并通過(guò)安全門開啟關(guān)閉來(lái)保證操作者的安全。

TH510系列功率器件CV特性分析儀配置了Interlock接口，可與安全門開關(guān)連接，在安全門開啟時(shí)切斷高壓輸出并禁止儀器啟動(dòng)，只有關(guān)閉后才能正常工作。確保了操作者和設(shè)備的安全。

       7）模組式器件設(shè)置，支持定制

針對(duì)模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會(huì)有不同類型芯片混合式封裝，TH510系列CV特性分析儀針對(duì)此情況做了優(yōu)化，常見(jiàn)模組式芯片Demo已內(nèi)置，特殊芯片支持定制。

       8）10檔分選及可編程HANDLER接口

儀器提供了10檔分選，為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級(jí)提供了可能，分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口

在與自動(dòng)化設(shè)備連接時(shí)，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動(dòng)化客戶的難題，TH510系列LCR將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對(duì)應(yīng)信號(hào)、應(yīng)答方式等可視化，讓自動(dòng)化連接更簡(jiǎn)單。

TH512國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀規(guī)格參數(shù)指標(biāo)